日本SHIBAURA芝浦 油扩散真空泵ESV-8 运行时间快
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ESV系列的特点
该系列采用ESV-6及以下的环形加热器和ESV-8及以上的内热式护套加热器，
从超高真空到高、中、真空区域获得稳定的压力，防止因油暴而引起的压力波动。
ESV系列导热油热效率高（与我公司相比），因此运行时间快、排量大、临界背压高。它还需要较少的液压油。
使用示例
各种真空炉
各种实验用排气装置
管材制造设备
各种成膜设备
电子束焊接
电子显微镜
| 模型 | 单元 | ESV-8 | ESV-10 | ESV-12 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大抽速 | 升/秒 | 2,000 | 3,000 | 4,500 | |
| 极限压力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -6 ~ 3.3 × 10 -1 | 10 -6 ~ 3.3 × 10 -1 | 10 -5 ~ 0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 46 | 40 | 37 | |
| 最大位移 | 帕升/秒 | 400 | 第460章 | 800 | |
| 使用油 | 高背F-4 | 高背F-4 | 狮子A | ||
| 油量 | L | 0.6 | 1 | 1 | |
| 垫片 | 拜腾 | 拜腾 | 氯丁橡胶 | ||
| 加热器 | 格式 | 种子 | 种子 | 种子 | |
| 电压、相位 | ACV阶段 | 200, 1 | 200, 3 | 200, 3 | |
| 格式 | 千瓦 | 1.6 | 2.5 | 3.2 | |
| 进气口 | VG200 | VG250 | VG300 | ||
| 辅助端口 | VG50 | VG50 | VG80 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 2.5 | 五 | 6 | |
| 辅助泵 | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | RP-1200ZⅡ×2 | ||
| 挡板样式 | 8C（雪佛龙） | 10C（雪佛龙） | 12C（雪佛龙） | ||
| 带挡板的抽速 | 升/秒 | 800 | 1,200 | 1,800 | |
| 挡板冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 2.5 | 五 | 6 | |
| 油回流 | 厘米3 /厘米2分钟 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -7 | |
| 材料 | 圆柱 | 防锈的 | 防锈的 | 铁（镀镍） | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大量的 | 公斤 | 二十五 | 45 | 55 | |