SHIBAURA芝浦 油扩散真空泵ESV-161 导热油热效率高
SHIBAURA芝浦 油扩散真空泵ESV-161 导热油热效率高ESV系列的特点该系列采用内部护套加热器，从超高真空区到高、中、真空区获得稳定的压力，并防止超高真空下因油暴而引起的压力波动。ESV系列导热油热效率高（与我公司相比），因此运行时间快、排量大、临界背压高。它还需要较少的液压油。使用示例各种真空炉各种实验用排气装置各种成膜设备电子束焊接模型单元ESV-161ESV-221SESV-241
SHIBAURA芝浦 油扩散真空泵ESV-161 导热油热效率高
ESV系列的特点
该系列采用内部护套加热器，从超高真空区到高、中、真空区获得稳定的压力，
并防止超高真空下因油暴而引起的压力波动。
ESV系列导热油热效率高（与我公司相比），
因此运行时间快、排量大、临界背压高。它还需要较少的液压油。
使用示例
各种真空炉
各种实验用排气装置
各种成膜设备
电子束焊接
| 模型 | 单元 | ESV-161 | ESV-221S | ESV-241 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大抽速 | 升/秒 | 7,500 | 13,500 | 20,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 10 -5 | 10 -5 | 10 -5 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -5 ~ 0.4 | 10 -5 ~ 0.4 | 10 -5 ~ 0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 33 | 35 | 33 | |
| 最大位移 | 帕升/秒 | 1,130 | 1,680 | 1,460 | |
| 使用油 | A | A | A | ||
| 油量 | L | 2 | 3 | 五 | |
| 垫片 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | ||
| 加热器 | 格式 | 种子 | 种子 | 种子 | |
| 电压、相位 | ACV阶段 | 200, 3 | 200, 3 | 200, 3 | |
| 格式 | 千瓦 | 5.5 | 7.5 | 9.0 | |
| 进气口 | VG400 | VG550 | VG600 | ||
| 辅助端口 | VG100 | VG150 | VG150 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 11 | 15 | 15 | |
| 辅助泵 | KP-4500BG | KP-7500BG | KP-7500BG | ||
| 挡板样式 | 16C（雪佛龙） | 22L（百叶式） | 24L（百叶式） | ||
| 带挡板的抽速 | 升/秒 | 3,000 | 6,500 | 8,000 | |
| 挡板冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 11 | 3 | 3 | |
| 油回流 | 厘米3 /厘米2分钟 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 | |
| 材料 | 圆柱 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大量的 | 公斤 | 160 | 250 | 350 | |