原装 SHIBAURA芝浦 油扩散真空泵ESV-24S 排量大
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原装 SHIBAURA芝浦 油扩散真空泵ESV-24S 排量大
ESV系列的特点
该系列采用内部护套加热器，从超高真空区到高、中、真空区获得稳定的压力，
并防止超高真空下因油暴而引起的压力波动。
ESV系列导热油热效率高（与我公司相比），
因此运行时间快、排量大、临界背压高。它还需要较少的液压油。
使用示例
各种真空炉
各种实验用排气装置
各种成膜设备
电子束焊接
| 模型 | 单元 | ESV-24S | ESV-281S | ESV-361S | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大抽速 | 升/秒 | 19,000 | 23,000 | 39,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 10 -5 | 10 -5 | 10 -5 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -5 ~ 0.4 | 10 -5 ~ 0.4 | 10 -5 ~ 0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 30 | 30 | 40 | |
| 最大位移 | 帕升/秒 | 1,300 | 2,500 人 | 2,800 | |
| 使用油 | A | A | A | ||
| 油量 | L | 五 | 五 | 9 | |
| 垫片 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | ||
| 加热器 | 格式 | 种子 | 种子 | 种子 | |
| 电压、相位 | ACV阶段 | 200, 3 | 200, 3 | 200, 3 | |
| 格式 | 千瓦 | 9.0 | 12 | 15.6 | |
| 进气口 | VG600 | VG700 | VG900 | ||
| 辅助端口 | VG150 | VG200 | VG200 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 15 | 15 | 15 | |
| 辅助泵 | KP-7500BG | TMB-1500 + KP-4500BG | TMB-2500 + KP-7500BG | ||
| 挡板样式 | 24L（百叶式） | 28L（百叶式） | 28L（百叶式） | ||
| 带挡板的抽速 | 升/秒 | 10,500 | 120,000 | 22,000 | |
| 挡板冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 3 | 3 | 3 | |
| 油回流 | 厘米3 /厘米2分钟 | 10 -8 | 10 -7 | 10 -7 | |
| 材料 | 圆柱 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大量的 | 公斤 | 200 | 400 | 830 | |