半导体制造工厂 TU-KN100粉尘去除装置TAISEI大成技研

半导体制造工厂 TU-KN200 粉尘去除装置TAISEI大成技研

半导体洁净装备 TU-KN500元件型 除粉器 TAISEI大成技研

真空工业产品

气态除粉设备

气态除粉设备是一种创新的粉末捕集器，

可去除主要用于半导体和液晶制造工厂的废气中的活性生物（细粉）。

气液分离器

这是大成技研株式会社新开发的真空泵用气体和液体分离专用疏水阀。

我们提供多种类型的气液分离元件。

油水分离器

水从真空泵油中不断分离，使油始终保持与新油相同的状态，

不受水分影响。具有减少换油、延长泵寿命等巨大作用。

油清洁剂

同时处理真空泵油中的颗粒、水分和酸。

通过不断保持油与新油相同的状态，不仅可以防止故障，还可以防止真空泵的性能恶化。

特征

Trapac（元件类型）：外观和结构

高性能

去除细小反应产物（细粉）

低压降

单元密度低，网格空隙大

海量收藏

粉末分层在元件的表面和内部。