玉崎供应NIPPON SEISEN日本精线薄金属膜过滤器N-30TF 1/4 VCR L84

玉崎供应NIPPON SEISEN日本精线薄金属膜过滤器N-30TF 1/4 VCR L84半导体气体过滤器NASclean®是一种由烧结微米级不锈钢短纤维(SUS316L)制成的薄金属膜过滤器。我们通过提供从过滤介质(不锈钢短纤维)到最终产品的一体化生产,为半导体、平板显示器、太阳能电池板等生产过程中使用的气体过滤做出贡献。用于工艺气体这是世界上唯一使用短不锈钢纤维的金属膜过滤器。实现高颗粒去除

玉崎供应NIPPON SEISEN日本精线薄金属膜过滤器N-30TF 1/4 VCR L84



半导体气体过滤器

NASclean®是一种由烧结微米级不锈钢短纤维(SUS316L)制成的薄金属膜过滤器。我们通过提供从过滤介质(不锈钢短纤维)到最终产品的一体化生产,为半导体、平板显示器、太阳能电池板等生产过程中使用的气体过滤做出贡献。

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用于工艺气体

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  • 这是世界上唯一使用短不锈钢纤维的金属膜过滤器。

  • 实现高颗粒去除性能和低压力损失。

  • 适用于100SLM以下的流量,可用于各种工艺气体。

用于工艺气体管线的小流量过滤器 (186KB)

适用于散装气体

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  • 褶皱过滤介质形状即使在高流量下也能实现较低的压力损失。

  • 由于是全金属,因此可以进行高温烘烤。

  • 兼容高达3000Nm 3 /hr的大流量。

用于散装气体管线的大流量过滤器 (178KB)

用于设备保护

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  • 用于保护MFC、阀门、调节器等设备的过滤器

  • 您可以根据使用条件选择低压型或高压型。

  • 可与现有管道一起安装。

管式高压兼容超精密过滤器 (199KB)
低压用盘式超精密过滤器 (182KB)

适用于IGS面板

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  • 与集成气体面板过滤器、1.125W-Seal、1.125C-Seal 和 1.5W-Seal 兼容。

  • 通过使用褶皱介质实现小型化。

  • 通过使用机械密封,介质部分无需焊接。

用于集成燃气面板的 IGS 过滤器 (202KB)

用于扩散器

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  • 通过使用褶皱介质可以实现高速排气。

  • 防止颗粒缠绕并有助于提高产品产量。

  • 可根据安装空间进行设计。

用于常压回流的高速排气过滤器 (189KB)




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