日本原装INTECS英特斯UIH-1H型用于抛光晶圆雾度目视检查的照明系统
用于抛光晶圆雾度目视检查的照明系统当照射到抛光晶圆上时，会投射出三个检查标记。UIH-1H型规格灯额定值15V 150W设计照射直径和距离距灯筒顶端180mm处直径40mm最大亮度上方照射直径中心约50,000勒克斯500,000勒克斯照射直径约φ45mm双直径时的距离和亮度360mm约150,000勒克斯亮度偏差和可变宽度最大亮度偏差：上限10%，下限20% 可变宽度10:1以上最大亮度灯寿命5
日本原装INTECS英特斯UIH-1H型用于抛光晶圆雾度目视检查的照明系统
用于抛光晶圆雾度目视检查的照明系统
当照射到抛光晶圆上时，会投射出三个检查标记。
UIH-1H型规格
*1 为了保护灯泡，即使主电源开关关闭
，风扇也会保持冷却直至灯室内温度降至约 40℃ 以下的功能。