TEM-TECH 适合粘性 CMP 浆料的压力测量SE4000TZP-420PC2

适合粘性 CMP 浆料的压力测量。

由于没有死角，因此不存在 CMP 浆料硬化或气泡等问题。

PFA 传感器采用流通式结构，可兼容高粘度

-0.1或0~0.3、0.5、1MPa

兼容电流/电压输出、喇叭口、Super300等配件

接液部分：PFA

应用：泥浆

适合粘度高的CMP浆液

无死区的流通结构

接液部不使用金属或O形圈

高精度陶瓷传感器与高纯度PFA隔膜的接合结构

⚫ 接液部件质是不用担心金属离子流出的高纯度PFA

⚫ 采用无封入液的干燥传感器，破损时无污染

⚫ 传感器和隔膜的双重结构可以测量1MPa的高压

⚫ 也可以确认负压状况

SE4000系列

SE4000TZP-420PC2

SE4000TZP-420PC3

SE4000TZP-420PC4

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