优势供应ULVAC爱发科多级罗茨型干泵节电配件ES10
优势供应ULVAC爱发科多级罗茨型干泵节电配件ES10优势供应ULVAC爱发科多级罗茨型干泵节电配件ES10ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上，从而实现大幅省电的划时代部件。特点对节能的贡献干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗。*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。干泵的性能改进有望提高极限压力性能可降低排气噪音
优势供应ULVAC爱发科多级罗茨型干泵节电配件ES10
优势供应ULVAC爱发科多级罗茨型干泵节电配件ES10
ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上，从而实现大幅省电的划时代部件。
特点
对节能的贡献
干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。
此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗。
*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。干泵的性能改进有望提高极限压力性能
可降低排气噪音
所有压力范围内，排气速度均不会下降
在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果
*可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。安装简单
用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵 *1 电源频率60Hz *1 电源频率60Hz ES4A NW40 ES4A NW50 ES10用途
溅射设备等的loading/unloading室用的干泵规格
*1 干泵的使用工艺气体、吹扫气体 0Pam3/s*2 手动启动/停止时可以通过跳转控制连接器的PIN，来ON/OFF电路保护器。*3 ES10標配一個閥單元型式 ES10 ES4A 电源 规格 单相 AC100～220V 50/60Hz 单相 AC200～220V±5% 50/60Hz 最大功耗 65W *1 400W 控制 输入 远程启动/停止（接点 DC24V有電圧） 接点容量2.0A以上请准备无电源接点 *2 输出 过电流报警输出(接点 无电圧) 接点容量：DC24V 1.0A 启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 显示 运作时间显示 运作时间、启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 外观尺寸 本体单元 175mm×310mm×240mm 250mmx475mmx373mm 阀单元 Φ66mm×110mm(NW40) *3 选项 质量 本体单元：8.3kg 阀单元：800g 32kg 质量 G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器 Φ16mm管接头( 推荐管的长度为1.5m以内) 效果例
ES4A
弊社泵型号 LR1800 LR3601-R 排气速度*1 罗茨泵 1784m3/hr（29700L/min） 3200m3/hr(53333L/min） 干泵 237m3/hr（3950L/min） 440m3/hr(7333L/min） 平均功耗*2,3 极限压力运作时 没有 6.0kW 7.8kW ES4A安装时 2.7kW 3.2kW 消减率 55% 59% 反复排气时 *4 没有 7.2kW 9.6kW ES4A安装时 5.7kW 6.3kW 消减率 21% 34%
*2 密封气体5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反复排气60秒节拍的测量示例。ES10
型号名称 LR60 LR90 LR180 排气速度*1 1300L/min 2100L/min 3980L/min 实测功耗*2 2.1kW 3.6kW 6.6kW ECO-SHOCK安装后的实测功耗*2 *3 *4 0.7kW 1.0kW 1.6kW 电力消减率 67% 72% 76%
*2 功耗为极限压力时的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量尺寸图
阀门单元 尺寸图
