优势供应ULVAC爱发科双绕式涡旋泵DIS-90
优势供应ULVAC爱发科双绕式涡旋泵DIS-90优势供应ULVAC爱发科双绕式涡旋泵DIS-90•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。•可在大气压下实现操作运行。•可实现高极限真空。•低振动低噪音。•维护周期可通过计时表控制。特点结构紧凑，排气量大。干式真空泵的最高压力水平。内置自动复位型热保护器等安全设计。通过空气冲洗抑制水分凝结。用途分析设备气体回收系统涂装设备TMP的背泵氦气检漏仪半
优势供应ULVAC爱发科双绕式涡旋泵DIS-90
优势供应ULVAC爱发科双绕式涡旋泵DIS-90
•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
特点
结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
用途
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
规格
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。
对应标准/电压
| ||||||||||||||
●：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ｃＴＵＶｕｓ认证 ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准的高质量产品。
※ｃＴＵＶｕｓ认证 ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准的高质量产品。
使用上的注意
１ | 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 请使用吸气阱。 |
２ | 吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。 |
尺寸图
排气速度曲线
