OFI-200C

ULVAC

在不锈钢制造的本体中内置了特殊过滤器的吸气口过滤器。
有防止油向真空管道内反向扩散和防止粉状体混入真空泵的2个类型。
安装时需要KF-25型卡箍。
因为是密闭式的，所以不能更换过滤器。

规格

型号	用途	适合机种	A	B	C
OFI-050C	用于防止油的反向扩散	GHD-031^※、GLS-051 GLD-051、GLD-040、GCD-051X	Φ74	114	KF-25
OFI-200C	用于防止油的反向扩散	GHD-101、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA GLD-202BB、GCD-136X、GCD-201X	Φ99	150	KF-25
OFI-050V	用于防止粉体混入	GHD-031^※、GLS-051 GLD-051、GLD-040、GCD-051X	Φ74	114	KF-25
OFI-200V	用于防止粉体混入	GHD-100、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA GLD-202BB、GCD-136X、GCD-201X	Φ99	150	KF-25

尺寸单位＝ｍｍ

＊OFI系列需要卡箍（KF-25）和中心环（KF-25）。
注）安装前阱会减小真空泵的排气速度和极限压力
＊G系列需要更换为吸管（M20×KF-25）。
※GＨＤ-031需要更换法兰（KF-16/25），卡箍（KF-16），中心环（KF-16）。