玉崎经销ULVAC爱发科高真空低温泵CRYO-U10HSP

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玉崎经销ULVAC爱发科高真空低温泵CRYO-U10HSP

玉崎经销ULVAC爱发科高真空低温泵CRYO-U10HSP



低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U10HSP

ULVAC CRYOGENICS

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  1. 最适合溅射应用。

  2. 氩气容量是现有型号(U10H)的2倍。

  3. 再生时间间隔延长意味着更高的可用性。

  4. 可以进行多个连接(最多3个)。

标准规格

排气速度(20℃)L/s2,400
3,600
2,000
6,900
极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)
最大流量Pa・L/s(Torr・L/s)1.30×103(9.8)
2.1×102(1.6)
排气容量Pa・L(Torr・L)2.0×108(1.5×106)
1.2×106(9.0×103)
冷却下降時間
(动力循环)
min(Hz)120/110(50/60)
吸气口法兰UVG-250,10BANSI
压缩机组C15R
重量Kg36.0

*维护周期:16,000小时
*移动托盘可选

外观尺寸 (单位:mm)

u10hsp.gif


联系电话:0755-28578111

周一~周五 8:30:00~18:00 周六 10:00~17:00

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