玉崎经销YAMATO雅马拓多组分气体混合装置MU-35XX
玉崎经销YAMATO雅马拓多组分气体混合装置MU-35XX玉崎经销YAMATO雅马拓多组分气体混合装置MU-35XX配备质量流量控制器的混合气体发生器多组分气体混合装置（MU-35XX）的特点操作简单专用软件可让您轻松设定生成气体的流量和气体浓度。兼容多种气体类型配备多范围/多气体功能模型质量流量控制器，允许您更改气体类型和流量范围。最多可混合 6 种成分的气体可以混合 2 至 6 种成分的气体。
玉崎经销YAMATO雅马拓多组分气体混合装置MU-35XX
玉崎经销YAMATO雅马拓多组分气体混合装置MU-35XX
配备质量流量控制器的混合气体发生器
多组分气体混合装置（MU-35XX）的特点
操作简单
专用软件可让您轻松设定生成气体的流量和气体浓度。
兼容多种气体类型
配备多范围/多气体功能模型质量流量控制器，允许您更改气体类型和流量范围。
最多可混合 6 种成分的气体
可以混合 2 至 6 种成分的气体。
规格
| 模型 | MU-35XX |
|---|---|
| 流量测量范围 | 2~100%FS（保证精度范围） |
| 气体类型 | 兼容惰性气体到腐蚀性气体（特殊气体将单独讨论） |
| 总流量 | 100SCCM～50SLM |
| 成分 | 5种成分 |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 485×480×262毫米 |
| 备注（尺寸） | 这是 6 组分气体单元的示例。 |
| 电源容量 | 交流100V 1A |
| 重量 | 10公斤 |