DIC 超纯水抗静电装置 eFLOW 1AP-B02，玉崎优势供应
2026-07-17 16:13:01
DIC 超纯水抗静电装置 eFLOW 1AP-B02，玉崎优势供应
DIC 超纯水抗静电装置 eFLOW 1AP-B02，玉崎优势供应
DIC eFLOW 1AP-B02 超纯水抗静电（控电阻率）一体化装置
一、型号释义
eFLOW：DIC SEPAREL 超纯水 CO₂溶入 + 脱气一体化防静电系列
1：单膜模组配置
AP：Panel 面板机架型，适配 EIA 标准机柜导轨嵌入式安装，全洁净接头标准款
B02：洁净管路、标准接口规格后缀
内置核心膜：PF-001L-NA（纯水专用内灌流脱气 / 溶气模组，同你之前查询 PF-03F 同系列膜技术）
二、核心技术参数
表格
| 参数项 | eFLOW 1AP-B02 规格 |
|---|---|
| 额定处理流量 | 1～16 L/min |
| 内置膜模组 | PF-001L-NA ×1 支 |
| 可控电阻率区间 | 0.1～15 MΩ・cm 连续可调 |
| 液体主接口 | Rc3/4 内螺纹（高纯洁净接头） |
| 真空抽气口 | Rc1/8 内螺纹 |
| CO₂进气口 | 标准小型钢瓶供气接口 |
| 工作水温 | 5～40 ℃ |
| 适用水压 | 0.1～0.3 MPa |
| 接液材质 | PP + 高纯 PTFE 氟树脂，无金属析出 |
| 安装尺寸 | 宽 480× 深 432× 高 350 mm |
| 质保 | CO₂溶解膜模组原厂 5 年质保 |
| 输出信号 | 电阻率异常报警、运行状态接点信号 |
三、双重工作原理（脱气 + 防静电一体）
深度脱气工序（消除气泡水印）超纯水走 PF 中空纤维内腔，膜外侧真空抽取，脱除水中溶解 O₂、多余 CO₂，避免高压喷淋、晶圆清洗产生气泡针孔、水印缺陷。
CO₂溶入控电阻率（防静电核心）膜外侧通入 CO₂，气体透过 PTFE 膜溶解进纯水：
微量离子提升水体导电能力，快速导出水流与基板摩擦产生的静电；通过调节饱和碳酸水与原超纯水混合比例，稳定锁定电阻率，无需添加任何化学药液，不污染高纯水路。
四、核心优势
一体双功能：脱气、防静电控电阻率一台设备完成，减少管路布局
流量波动稳定：专用分流管路，喷淋、切割流量骤变时电阻率波动极小
低压损：内灌流 PF 膜结构，原有超纯水管道可直接加装，无需增压泵
超高洁净：全氟 / PP 接液，无金属、无离子析出，适配半导体 12 寸、面板高洁净制程
低维护高寿命：无泵、无搅拌等运动部件，故障率极低；CO₂模组 5 年原厂质保
机架省空间：EIA 标准面板嵌入式，直接装设备机柜，不占用地面空间
五、典型应用场景
半导体：晶圆切割 (Dicing) 清洗、光罩 / 掩模版清洗、Scrubber 刷片清洗
面板 / 显示：玻璃基板高压喷淋清洗、CELL 段水洗
精密电子：PCB 线路清洗、微型器件超声水洗
痛点解决：杜绝静电击穿精细线路、粉尘静电二次吸附基板、清洗水印、针孔不良