日本ULVAC爱发科 真空泵 CR60B，玉崎优势供应
日本ULVAC爱发科 真空泵 CR60B，玉崎优势供应
日本ULVAC爱发科 真空泵 CR60B，玉崎优势供应
CR60B 属于CR Ver.B 空冷多级罗茨干泵，无油洁净、风冷免水冷，可直接从大气压抽气，无需前级泵；分两个子型号：
CR60B-S（标准款）50Hz 抽速 55 m³/h（920 L/min），无气镇极限真空≤3.0 Pa
CR60B-T（高真空款）极限真空≤0.5 Pa，其余外形、功率、接口与 S 完全一致
二、核心完整技术参数
表格
| 参数项目 | CR60B-S / CR60B-T |
|---|---|
| 抽气速率 (50Hz) | 55 m³/h（920 L/min） |
| 极限真空（无气镇） | S：≤3.0 Pa；T：≤0.5 Pa |
| 极限真空（开启气镇） | S：6.0 Pa；T：1.0 Pa |
| 吸气 / 排气接口 | KF40 标准真空法兰 |
| 电机规格 | 1.5kW DC 密封永磁电机 |
| 供电可选 | 三相 200~240V / 单相 200~240V 50/60Hz |
| 稳态功耗（极限真空） | 0.9 kW |
| 冷却方式 | 强制风冷，无需冷却水、轴封氮气 |
| 气镇机构 | 标配，最大水蒸气处理量 500 g/h |
| 噪音（1m 距离） | 65 dB(A) |
| 整机尺寸 | 长 550 × 宽 210 × 高 430 mm |
| 整机重量 | 48 kg |
| 齿轮箱润滑油 | BARRIERTA J100F E，加注量 140 cc |
| 安全认证 | CE、cTUVus |
| 标配附件 | 前置空气过滤器、一体式消音器、电源 / 信号接头、脚轮 |
三、工作原理
多级三叶罗茨非接触压缩内部多组三叶转子反向同步旋转，转子、泵壳间隙极小无物理摩擦，泵腔完全无油；气体逐级压缩后直排大气，可大气压直接启动抽真空。
气镇除水蒸气机制气镇阀向压缩腔混入干燥空气 / N₂，降低水蒸气分压，避免水汽冷凝乳化齿轮润滑油，适配真空干燥、水洗脱气工况。
DC 密封电机电机全密封结构，减少漏气、节能减重，长时间连续运行温升更低
四、核心优势
全程无油洁净真空泵头无润滑油脂，无油雾返流污染腔体，适配镀膜、半导体洁净制程；仅齿轮箱少量专用润滑脂，与工艺气体隔绝。
超低配套成本纯风冷设计，不用冷却水、不用吹扫氮气，设备管路布线极简，适合机柜嵌入式安装。
长寿命低维护转子无摩擦磨损；仅滤芯、密封件、齿轮油为消耗件，单人现场即可更换，支持 24h 连续量产运转。
一机多用既可做镀膜 / 溅射设备粗抽泵，也可搭配气镇处理含水蒸气工艺；内置消音器，机房噪音友好。
小型化紧凑机身48kg 带脚轮可移动，适配实验室、小型清洗、小型蒸镀机狭小设备空间。
五、适用工况与禁忌
适用场景
真空镀膜：光学溅射、装饰蒸镀、PVD 设备粗抽 / 维持泵
电子 / 半导体：小型等离子清洗、晶圆预抽、FPD 玻璃清洗脱气（搭配你之前查的 DIC eFLOW 脱气模组成套使用）
真空干燥：电子元件、药剂烘干（必须开启气镇）
实验室：薄膜沉积、材料表征、惰性气体置换排气
精密清洗：超纯水回路气泡脱除后端真空源