广东华特气体股份有限公司（华特气体，688268.SH）

核心标签：国内平台型电子特种气体龙头，国内唯一同时取得 ASML+Gigaphoton 双认证光刻混合气厂商，02 专项承担单位，半导体电子特气国产替代核心企业。

一、基础概况

成立：1999 年，总部广东佛山；2019‑12 科创板上市，佛山首家科创板上市民企。

实控人：石平湘、傅铸红；国内 20 余家子公司，江西、江苏、浙江、陕西等多处生产基地，产品出口 50 多个国家地区。

定位：以电子特种气体为核心，配套普通工业气体、气体供气设备与工程，给晶圆厂提供气体一站式解决方案。

资质：高新技术企业，主持 / 参与数十项电子气体国标、行标；累计 270 余项专利；国家 02 专项气体项目主要承担单位。

二、三大业务板块

1、特种气体（核心收入利润来源）

产品覆盖光刻混合气、刻蚀清洗气、沉积外延气、掺杂离子注入气、高纯氦气、锗烷、溴化氢、三氯化硼等 200 + 品种。

1）光刻混合气（王牌产品）

ArF/KrF 光刻所用稀有气体混配气（Ar/F/Ne、Kr/Ne 等）；国内唯一通过 ASML、Gigaphoton 双光源认证，可适配 5/7/14nm 先进制程，国内市占率约 60%，供给国内头部晶圆厂，同时实现海外出货。

2）刻蚀与清洗气体：四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、全氟丁二烯等氟碳气体，用于芯片刻蚀、腔体清洗，成熟制程及 AI 算力芯片大量使用。

3）沉积 / 掺杂气体：高纯氨、锗烷、三氯化硼、乙硼烷等，用于薄膜生长、离子注入。

4）高纯氦气：6N 级超高纯氦气，用于光刻机冷却、检漏，国内头部晶圆厂核心国产供应商。

国产化进展：截至 2025 年，累计57 款电子特气实现进口替代；20 余款产品稳定供货 14nm/7nm 产线，部分产品导入 5nm 制程产线。

2、普通工业气体

氧、氮、氩等大宗工业气体，毛利率偏低，主要为半导体、面板客户做区域配套供气，增强客户粘性。

3、气体设备与工程业务

供气系统、特气管道、混配装置的设计、安装运维；绑定大客户，提升整体解决方案能力，不单独对外大规模销售设备。

三、主要下游客户

国内：中芯国际、长江存储、长鑫存储、华虹半导体、士兰微等，国内 8 英寸以上晶圆厂覆盖率90% 以上。

海外：台积电、SK 海力士、英飞凌等，产品出口中国台湾、新加坡、韩国等地。

应用领域：集成电路、存储芯片、显示面板、光伏、光纤、医疗激光等。

四、核心竞争优势

顶级认证壁垒：国内唯一 ASML+Gigaphoton 光刻气双认证，先进制程准入门槛极高，认证周期长，客户切换成本高。

全品类平台优势：国内特气品类布局最齐全厂商之一，57 款产品实现替代，可给晶圆厂提供多品类打包供货，区别于单一产品企业。

完整产业链能力：从气体纯化、混配、检测、充装到供气工程一体化，多地生产基地保障本地化供应。

海外突破：光刻气、锗烷等产品实现海外终端客户导入，不只局限国内市场。

五、主要风险点

半导体周期波动：下游晶圆厂资本开支、稼动率直接影响特气采购；行业扩产带来价格竞争压力，部分氟碳产品价格承压。

新产品认证周期漫长，部分高端品类放量节奏存在不确定性。

部分上游原材料仍需要外部采购，存在供应链波动风险。

行业新进入者增多，国内特气赛道竞争逐步加剧。